1☁╃•▩↟、較優的溫度影響特性
資料是隨著環境溫度的變化觀測到的零點和溼度的變化✘↟·↟☁,可以看出✘↟·↟☁,具有很好的溫度特性↟│₪│◕。
溫度變化為什麼對EJA沒有影響呢?這是由感測器的固有結構決定的↟│₪│◕。
為輸入差壓與頻率的關係✘↟·↟☁,在正常溫度時✘↟·↟☁,諧振片的頻率如圖中實線所示✘↟·↟☁,邊側諧振片的頻率fr隨 著壓力的增加而上升✘↟·↟☁,中心諧振片的頻率fc隨著壓力的增加而減少↟│₪│◕。
當溫度上升✘↟·↟☁,由於邊側諧振梁和中心諧振梁形狀☁╃•▩↟、尺寸*一致✘↟·↟☁,故在相同的溫度狀態下✘↟·↟☁,變化量一致↟│₪│◕。
圖中虛線表示高溫時的頻率特性✘↟·↟☁,在同一溫度狀態下相同比率變化✘↟·↟☁,由於需要的是頻率之差✘↟·↟☁,故變化量相互抵消✘↟·↟☁,因此自動清除誤差的影響↟│₪│◕。透過以下關係式得知╃·₪:Iout0:常溫時的輸出Ioutt╃·₪:高溫時的輸出Iout0=fr-fc
Ioutt=fr-△fr-fc-△fc
=fr-fc-△fr-△cf
=Iout0-△fr-△cf
∵△fr=△fc
∴Ioutt=Iout0
2☁╃•▩↟、較優的單向過壓特性
感測器的結構決定了
EJA系列變送器具有較優的單向過壓特性↟│₪│◕。因有單向壓力作用時✘↟·↟☁,接液膜片內側的矽油向中心膜片移動✘↟·↟☁,矽油傳遞壓力到諧振感測器✘↟·↟☁,壓力增大到某一數值時✘↟·↟☁,接液膜片與本體*接觸在一起✘↟·↟☁,此時✘↟·↟☁,外部壓力不管怎樣增大✘↟·↟☁,矽油的壓力不會增大見右圖✘↟·↟☁,因此✘↟·↟☁,矽諧振感測器受到的壓力後就不會再受到較大的壓力✘↟·↟☁,有很好的保護能力✘↟·↟☁,即使受到了的作用✘↟·↟☁,由於單晶矽材料的恢復效能好✘↟·↟☁,故也能*恢復而*↟│₪│◕。